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2018年9月19日—23日,第20届中国国际工业博览会在国家会展中心(上海)举办,SMEE以“光刻梦想,芯创未来”为主题参展,隆重展出了应用于IC前道制造的600系列光刻机以及应用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造的200系列光刻机。
其中,我司600系列IC前道投影光刻机荣获本届工博会银奖。这是继500系列先进封装光刻机荣获第14届工博会金奖、300系列步进投影光刻机荣获第15届工博会铜奖、4.5代高分辨率投影光刻机荣获第18届工博会金奖、SPA200系列光配向设备荣获第19届工博会银奖之后,我司产品再度揽获工博会奖项。
6.2H馆——中心展区
7.2H馆——E151