长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量
 SOM245/10 |
 SOM255/10 |
SOM200系列测量设备主要应用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工艺。其中，SOM200/10系列为长寸测量设备，又称为长短寸测量设备或基板变形检测设备或精密测长机，主要应用于长寸测量，兼容短寸测量，可选配光刻胶膜厚测量；SOM200/10A系列为关键尺寸测量设备，主要应用于短寸测量。该系列设备沿用高分辨率曝光机相关技术，可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各种基板的测量。
产品特征
● 多功能测量
● 高测量精度
● 高测量效率
● 高精度的温度控制和高效洁净系统
主要技术参数
型号 |
SOM245 | SOM255 |
SOM260 |
基板尺寸 |
730mm×920mm | 1100mm×1300mm |
1500mm×1850mm 1300mm×1500mm |
TP测量重复性 |
300nm | 300nm |
300nm |
TP测量复现性 |
400nm | 500nm |
500nm |
CD/OL测量重复性 |
30nm | 30nm |
30nm |
CD/OL测量复现性 |
40nm | 40nm |
40nm |
Tact Time |
5 min | 6 min |
7 min |
上海浦东新区张东路1525号
info@smee.com.cn
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+86-21-58969020
